近年来，随着微电子技术和晶体管技术的发展，超大规模集成电路（ULSI）技术不断成熟，在现代微电子设备中发挥着至关重要的作用。超大规模集成电路是指采用晶体管、集成电路和超大规模综合工艺制作的集成电路。根据其器件种类的不同，超大规模集成电路可以分为MOSFET（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）集成电路、CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor）集成电路和BiCMOS（BiCMOS）集成电路 。
每一种超大规模集成电路的发展都有其独特的优势和有效地利用芯片和器件的空间，可以提供很多高性能的微电子设备，这种设备可以给用户提供更全面，功能更强大的应用服务。例如，MOSFET集成电路可以提供更小的封装，更低的功耗，更高的速度，更好的耐久性，更多的器件种类，更高的功率效率等优点。
此外，超大规模集成电路的发展也为现代高端微电子设备的制造提供了更多的可能性，比如移动电话、微处理器、可穿戴设备、智能家居设备等。超大规模集成电路的坚实的基础，为高性能微电子设备的发展提供了很大的保证，同时也推动了现代技术的发展和进步。
综上所述，超大规模集成电路的发展成熟，为现代高性能微电子设备的发展提供了坚实的基础，为社会的发展也贡献了重要的力量。
